대형 Wafer, FPD에 대응
조합에 의해 대배기량화 가능 15만 L/min 이상의 요구에도 대응 가능
02
FEATURE
고속 배기에 따른 Tact Time 단축
대기 측 배기 속도 확보에 의한 대형 L/L Chamber의 고속 배기 Tact Time 단축
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